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减薄铜液 Biotech CRS-1001

    途:

  1.铜表面的均匀化;

  2.各种前处理;

  3.薄铜箔基板的生产

特     长:

  1. 减铜速度快,可达15um/min(喷淋,浸泡均可);

  2. 减铜微蚀速率稳定,铜离子容忍度高达 65g/l;

  3. 减铜均匀性好,可达±0.35um; 铜面洁净,不易氧化;

  4.废液排放量少,综合运行成本低;

性能表现:

图1   减铜后表面均匀度对比

图2   微蚀速率与铜离子浓度的变化关系