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MSAP制程用闪蚀刻 Biotech ME-3002
闪蚀液 ME-3002 是一种以双氧水、硫酸为主要成分的快速微蚀液，微蚀后可减少侧面蚀刻，形成良好断面线路。主要用于精细线路的形成，如 MSAP 、SAP 等制程。
特 长 ：
1. 微蚀速率快：3~5um/min;
2. 可有效减少微蚀过程中的针孔的产生率；
3. 微蚀速率稳定，双氧水活性高；
4. 线路垂直性高，无明显的棱角，形成良好的断面线路；
5. 生产管控品质稳定，良品率高。
闪蚀液 ME-3002 是一种以双氧水、硫酸为主要成分的快速微蚀液，微蚀后可减少侧面蚀刻，形成良好断面线路。主要用于精细线路的形成，如 MSAP 、SAP 等制程。
特 长 ：
1. 微蚀速率快：3~5um/min;
2. 可有效减少微蚀过程中的针孔的产生率；
3. 微蚀速率稳定，双氧水活性高；
4. 线路垂直性高，无明显的棱角，形成良好的断面线路；
5. 生产管控品质稳定，良品率高。
性能表现：
微蚀速率随铜离子变化情况
