减薄铜液:微蚀速率稳定,不随铜离子浓度降低;铜离子容忍度高;降低运行成本;
铜面微蚀剂: H2SO4/H2O2 体系,它具有微蚀速率快且稳定,溶铜量大,外观光亮,后处理简单,无污染等优点,已被多名厂家采用。
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